高精度扫描系统,确保卓越的电信中心性

 

高精度扫描系统,实现卓越的同心性

pivotSCAN 是一款创新型扫描系统,专为要求严苛的激光应用而设计,可在整个扫描场内实现最高精度和完美的同心性。

 

传统的双镜系统虽然高效,但在大扫描区域内难以保持光束的正交性,即使使用同轴扫描透镜也是如此。这种被称为“非同轴性”的局限性会导致光束产生角度偏差,从而显著降低精度——特别是在体积扫描应用以及处理高折射率材料时。

 

例如在玻璃加工中,玻璃表面的折射会产生显著的像差——主要是像散——而当光束垂直进入材料时,即可避免此类像差。

 

pivotSCAN 通过实现完美的同轴性,为微加工、显示器制造以及穿玻璃过孔钻孔(TGV)等新应用开辟了可能。


玻璃切割


微钻玻璃晶圆


通过同轴性实现更高精度——pivotSCAN树立新标准

完美的同轴性,确保始终如一的最高处理质量


完美的望远镜透镜确保始终如一的最高处理质量

传统的双镜扫描系统即使与同轴物镜结合使用,仍会出现角度偏差,特别是在扫描场的外围区域,这可能会导致入射角(AOI)达到约2°。

 

当高数值孔径(NA)的紧聚焦激光束以倾斜角度穿过两种折射率不同的介质之间的界面时——例如从空气(较低折射率)进入玻璃或聚合物(较高折射率)——会产生一种称为像散的光学像差。这将导致无法形成单一焦点。

 

pivotSCAN 是一种由三面镜片组成的光学系统。这些镜片的排列方式使得最后一面镜片成为光束偏转的起点。结合远心扫描透镜,这种配置消除了视差误差和角度偏差,确保光束在整个扫描区域内始终与工件表面保持垂直。

 

得益于激光束精确的正交性,焦斑在整个扫描区域内始终保持紧凑。这种稳定性确保了工艺在每个位置都能提供均匀的质量,不会因光束角度或位置的变化而产生波动。


 

 

借助 SCANmotionControl 实现智能运动控制

 

SCANmotionControl 软件可对扫描仪的三个轴进行智能协调。它能对 pivotSCAN 进行便捷且无缝的控制,并确保激光束始终从指定的枢轴点射出,从而实现最佳精度。

 

它还增加了激光工艺控制的自由度,并保证了激光参数与扫描头运动轨迹之间的精确同步。

 

该控制软件基于预定义的加工图案和工艺参数,同时考虑扫描头的物理限制,计算出最优运动路径。随后,它确定扫描速度与激光功率的理想组合,以实现整个工件上的均匀能量沉积。

 

3D XL SCAN 可无缝集成到将 pivotSCAN 与 excelliSHIFT 作为 Z 轴相结合的复杂配置中。



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