微加工用光束整形系统

SCANLAB 与 Pulsar Photonics 建立开发与销售合作伙伴关系,共同致力于为微加工领域提供更高集成度的扫描解决方案。超短脉冲激光(USP)应用市场持续增长,而主要挑战往往在于如何实现生产效率的提升。在众多应用中,通过激光工艺并行化(例如采用多光束系统)可以满足这一需求。

Microscan Extension (MSE)


Microscan 扩展激光刀

Microscan Extension(MSE)可称为“1微米激光刀”。该扫描物镜将扫描系统扩展为微斑扫描头。

 

扫描仪与MSE的结合可实现高精度微加工:焦斑直径小于4微米,在紫外波长范围内甚至小于1.5微米。

 

MultiBeamScanner (MBS)

MultiBeam扫描仪配备intelliSCAN

MultiBeamScanner 可实现激光切割、钻孔和烧蚀工艺的并行处理。通过使用衍射光学元件(DOE),入射激光束被分成多种配置的子光束,从而使多个激光光斑能在同一成像场内同时工作。这样,既可以同时加工多个部件,也能更快地制造出复杂的结构。将其与 XL SCAN 结合使用,可进一步提高并行处理的速度和精度。

  

FlexibleBeamShaper (FBS)

柔性光束塑形器

FlexibleBeamShaper 是一款可集成到机器中的光束整形系统,能够生成用户自定义的光束分布。通过电子可控的光学相位调制器,FBS 成为一个配备多种预定义光束形状的“光子工具箱”。该系统集成了扫描振镜,为工艺开发人员在灵活、高效的微加工领域开辟了新的可能性。


光束对准模块 (BAM)

光束对准模块

光束对准模块(BAM)用于主动光束位置稳定。该模块可测量并调整对准误差、激光光源的热效应、环境温度波动,以及这些因素对光束位置的影响。因此,即使在环境条件波动的情况下,BAM也能确保工艺结果始终如一。

  

光子钻孔引擎(PDE)

光钻引擎

“光子钻孔引擎”(PDE)开发项目中,正在研制一种用于激光材料加工的高动态、高灵活性的多光束设备。

 

PDE 非常适合应用于电子行业,例如用于钻孔印刷电路板,以提高高密度应用中的钻孔速度。

设备比较

扫描系统

产品

比较
请至少选择一行扫描系统与产品后再进行对比
{{ device.system }} {{ device.product }}
{{ group.name }}
{{ param.label }}
{{ device.params[param.keyt] }}

研究项目联系人

公司地址:武汉市东湖新技术开发区高新二路25号关南园三路一栋四楼。
邮编:430074
联系电话:027-87618178
联系人:杨先生
手机:18162602070 / 13307122568
电子邮箱:yanghai@novalaser.com.cn
售后热线:17762531619
王先生 QQ:2783199827
邮箱:17762531619@163.com
华南办事处:广东省东莞市松山湖总部一号8栋401
联系人:卢小姐
手机: 18120568515
电子邮箱:lucaixian@novalaser.com.cn
Contact form