微加工用光束整形系统
SCANLAB 与 Pulsar Photonics 建立开发与销售合作伙伴关系,共同致力于为微加工领域提供更高集成度的扫描解决方案。超短脉冲激光(USP)应用市场持续增长,而主要挑战往往在于如何实现生产效率的提升。在众多应用中,通过激光工艺并行化(例如采用多光束系统)可以满足这一需求。
Microscan Extension (MSE)

Microscan Extension(MSE)可称为“1微米激光刀”。该扫描物镜将扫描系统扩展为微斑扫描头。
扫描仪与MSE的结合可实现高精度微加工:焦斑直径小于4微米,在紫外波长范围内甚至小于1.5微米。
MultiBeamScanner (MBS)



