precSYS 5轴微加工系统

precSYS 微加工子系统可实现柔性几何形状的激光微加工和钻孔，包括激光切割和结构加工。该系统专为超短脉冲（USP）激光器设计，能够对各种孔洞和结构进行极其精洁的加工，且无需后续处理。


precSYS 融合了尖端的高端扫描技术、集成控制系统、嵌入式 PC 以及用户友好的软件。这使得激光微加工能够实现极致的动态性能和精度。

配备图形用户界面 (GUI) 的 DrillControl 软件，可轻松创建、模拟和测试微加工任务。

结构极为坚固的扫描系统专为工业应用进行了优化。其紧凑的模块化设计，配合专门适配的硬件和软件接口，可轻松集成到客户定制的激光设备及自动化物联网（IoT）环境中。

 

该系统适用于波长为 1030 nm、1064 nm 和 515 nm 的 UKP 激光器。

 

主要优势

-灵活的 USP 激光加工，支持可变入射角（正角和负角）

-与速度无关的轮廓保真度

-经工业验证、高度集成的模块化设计，内置 PC

-自动微调模块，确保长期精度

-配备图形用户界面的直观 DrillControl 软件，可轻松创建和模拟加工任务

-超精密预校准

-全面的现场客户服务和培训



厚度为250 µm的Si3N4陶瓷基板中，边长为30 µm的方形孔的入口侧。

 

precSYS 515 的其他优势

-515 nm 版本的波长恰好是 1030 nm 红外激光器波长的一半，因此光斑尺寸和特征尺寸要小得多

-在 515 nm 波长下，相同的束口直径可支持高达 12.5:1 的长宽比

-可精确加工边长为 20 µm × 20 µm、圆角半径为 4 µm 的结构


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