卓越性能
SCANLAB 提供与 RTC6 PCI Express 控制板配套使用的 excelliSCAN。凭借大幅提升的处理能力以及对 SCANahead 控制技术最佳应用的支持,RTC6 为系统控制开辟了新的可能性。
孔径
14 mm
振镜扫描仪角度传感器
数字编码器
光学配置
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波长范围 (标准)
适用于所有常见激光系统的标准镀膜: YAG 激光器和光纤激光器、 绿光激光器、 紫外激光器、 深紫外激光器、 CO₂ 激光器 此外,我们的产品组合还包括众多多波长和宽带镀膜,以及适用于短脉冲应用的镀膜和保偏镀膜
最大激光功率 (标准系统,100%占空比)
500 W @ 1064 nm 配置风冷
典型扫描角度
±0.35 rad(光学)
图像场大小
95mm x 95mm
典型光斑大小
23µm
动态性能
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已安装的调谐数量
1
典型调谐
通用调谐
跟踪误差
0 ms
标刻速度
< 4 m/s
定位速度
< 32 m/s
高书写质量
850 cps
良好书写质量
1000 cps
精度
▼
重复性 (RMS)
< 0.4 µrad
定位分辨率 (最大)
20 位 *
非线性
< 0.5 mrad / 44°
温度漂移-偏移
< 10 µrad/K
温度漂移-增益
< 5 ppm/K
8h漂移-偏移
< 20 µrad
8h漂移-增益
< 20 ppm
24h漂移-偏移
< 20 µrad
24h漂移-增益
< 20 ppm
* 20 位
基于全角度范围(例如,角度范围为 ±0.36 rad 时的定位分辨率为 0.7 µrad),只有配合 SL2-100 接口使用时,分辨率才能优于 16 位(11 µrad)
电子/控制
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伺服控制振镜扫描仪
数字伺服控制板
控制接口 (可选配置)
数字 SL2-100
高级诊断选功能
可选
电源要求
30 V 直流,最大 3 A
机械结构
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扫描轴
2轴系统
外壳版本
标准型:扫描头
连接器位置
光束入口侧, 或光束出口侧的对侧
不含物镜的重量 (标准外壳)
约7 kg
尺寸(长 x 宽 x 高)(标准外壳)
(189.1×118×158.5)mm³ 带水冷
光束位移
16.42 mm
其他配置
▼
水冷
配置
风冷
配置(镜面的压缩空气冷却)
其他规格
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工作温度
25 °C ± 10 °C
增益误差
< 5 mrad
零点偏移
< 5 mrad