孔径
50 mm
振镜扫描仪角度传感器
模拟位置检测器
光学配置
9400 nm、10600 nm
2500 W @ 9400 nm、10600 nm
±0.35 rad(光学)
动态性能
1
快速矢量调谐
< 0.45 ms
20 rad/s
1.0 ms
4.5 ms
精度
< 4 µrad
XY轴为18位, Z轴为16位*
<2.1 mrad / 44°
< 50 µrad
< 50 ppm
基于全角度范围(例如,角度范围为 ±0.36 rad 时的定位分辨率为 2.8 µrad),只有配合 SL2-100 接口使用时,分辨率才能优于 16 位(11 µrad)
电子/控制
数字伺服控制板
数字型 SL2-100
可选
(48+1.5) V 直流,每路最大 10 A (峰值电流 20 A)
机械结构
带集成 varioSCAN 的 3 轴系统
扫描头
光束出口侧的对侧
35 kg
(433 × 268 × 266)mm³ (带 varioSCAN)
72.72 mm
其他配置
配置
配置
其他规格
25℃±10℃
< 5 mrad
< 5 mrad
设备比较

扫描系统

产品

比较
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